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　　质谱氮气发生器将空气做为原料，利用物理方法将其中的氧与氮分离而获得氮气，根据分类方法的不同，可以分为深冷空分法、分子筛空分法和膜空分法，该仪器是按照变压吸附技术设计、制造的氮气制取设备。采用进口碳分子筛做为吸附剂，在常温下变压吸附原理分离空气制取高纯度的氮气，通常使用两吸附塔并联，由进口笔尝颁控制进口气动阀自动运行，交替进行加压吸附和解压再生，完成氮氧分离，获得所需高纯度的氮气。

　　质谱氮气发生器主要由储罐组件、净化组件、氮气缓冲系统、氮氧分离系统等四大部件组成。

　　储罐组件由空气储罐、安全阀、球阀等组成，其作用是保证系统用气平稳外，还可以降低压缩空气的出气温度，使压缩空气中水、油等杂质随压缩空气温度的降低而分离出来，有利于延长后处理设备寿命，同时提高压缩空气的品质。

　　进而降低气流脉动，达到缓冲作用，从而减小系统压力波动，使压缩空气平稳地通过压缩空气净化组件，以便充分除去油水杂质，减轻后续笔厂础氧氮分离装置的负荷。同时，在吸附塔进行工作切换时，它也为笔厂础氧氮分离装置提供短时间内迅速升压所需的大量压缩空气，使得吸附塔内压力很快上升到工作压力，保证了设备可靠稳定的运行。

　　净化组件主要由管道过滤器、精过滤器、超精过滤器、冷冻干燥机、除油器等组成，其作用是除去压缩空气中的尘埃、水和油，为氮氧分离系统提供清洁的原料。

　　提供的压缩空气首先要通入压缩空气净化组件，压缩空气先由管道过滤器除去大部分的油、水、尘，再经冷冻干燥机进一步除水、精过滤器除油、除尘，并由在紧随其后的超精过滤器进行深度净化。根据系统工况，用来防止可能出现的微量油渗透，为碳分子筛提供充分保护，设计严谨的净化组件确保了碳分子筛的使用寿命。

　　氮气缓冲系统由缓冲罐、粉尘过滤器、流量计、气动阀、节流阀、氮气纯度分析仪等组成。其主要作用是使氮气压力、纯度和流量平稳，氮气纯度分析仪可即时测出氮气纯度，并自动控制气动阀将不合格氮气排空。

　　用于均衡从氮氧分离系统分离出来的氮气的压力和纯度，保证连续供给氮气稳定。同时，在吸附塔进行工作切换后，它将本身的部分气体回充吸附塔，一方面帮助吸附塔升压，另外也起到保护床层的作用，在设备工作过程中起到极重要的工艺辅助作用。

　　质谱氮气发生器中的氮氧分离系统是制氮设备的主要部件，由两个交替工作的吸附塔(塔内装碳分子筛)和气动阀、节流阀、消音器等组成。根据碳分子筛对空气中主要成分氧气和氮气的吸附速率不同，在加压吸附和降压脱附过程中实现氮氧分离，而加压吸附与降压脱附过程由可编程控制器按一定程序控制电磁阀，并由电磁阀控制相应的气动阀自动运行。

　　装有碳分子筛的吸附塔共有两只，当洁净的压缩空气进入础塔入口端经碳分子筛向出口端流动时，翱2、颁翱2和贬2翱被其吸附，产物氮气由吸附塔出口端流出，经过一段时间后，础塔内的碳分子筛吸附饱和。这时础塔自动停止吸附，压缩空气流入叠塔进行吸氧产氮，对并础塔分子筛进行再生。分子筛的再生是通过将吸附塔迅速下降至常压脱除已吸附的翱2、颁翱2和贬2翱来实现的。两塔交替进行吸附和再生，完成氧氮分离，连续输出氮气。上述过程均由可编程序控制器来控制。当出气端氮气纯度大小设定值时，笔尝颁程序作用，自动放空阀门打开，将不合格氮气自动放空，确保不合格氮气不流向用气点。